CZA系列氩气净化机
设备名称 | 设备型号 | 工作方式 | 备 注 |
催化再生式氩气净化机 | CZA-B | 手动 | 工作塔一用一备 |
CZA-C | 半自动 | 工作塔一用一备 | |
CZA-D | 手动 | 工作塔一组 | |
CZA-Z | 全自动 | 工作塔一用一备 | |
原气要求 | 纯 度 | ≥99.9%一般瓶装纯氩、液氩、较好的管道氩 | |
杂质要求 | O2<1000PPm, H2O<1000PPm | ||
输出纯气 | 杂质含量 | O2≤0.5PPm H2O≤2PPm(即露点≤－70℃) CO+CO2≤0.1PPm 尘埃粒子数（≥0.3μm）3-5个／升 S、P的氧化物≤0.1PPm | |
纯 度 | ≥99.9998% | ||
工作压力 | 0～1.0MPa | ||
处理气量 | 1～100Nm3/h 根据用户需求设计制造 | ||
备 注 | 此系列设备不能除氮，氩气中除氮应选择4N/FX系列机型。 | ||