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质量流量控制器即Mass Flow controller(MFC)，MFC系列质量流量控制器，采用补偿型层流压差技术，尽可能使得气体在通过仪器内部通道时保持层流状态。 内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并通过严格的品控和的材料使用，提高内部结构的耐腐蚀性，减小非层流泄露引起的差压损失，降低气体流动阻力，保证产品使用的稳定性，提高流量控制精度。
产品描述
采用补偿型层流压差技术，达到进口控制器水平
控制精度高，使用性能稳定，高
可测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度等
常用量程：5osccm, 100sc cm, 500sc cm, 2sl pm,5sl pm,10sl pm,20sl pm,20sl pm,25sl pm支持量程定制
介质要求：非腐蚀性、 洁净、 干燥的气体
精度 | ± (1%读数) |
控制响应时间 | 2 |
阀门功能 | 常闭型 |
工作湿度 | 0~90%, 无冷凝 |
供电电压 | 12 - 30V DC |
通讯接口 | RS485 |
量程可控比 | 3~*满量程 |
重复性 | ± (0.5%读数) |
默认标况 (STP) | 25℃& 1Atm (其它标况可调) |
工作温度 | 0 ~ 50℃ |
使用压力(绝压) | 30-55psi (量程的5-95%)建议使用压力 (35-45) psi |
材质 | 316L不锈钢 |
应用领域
可用于快速地控制过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合，如大学、研究所、泄漏检测、环境监测、工业生产等。
